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piezosystem jena 创立于德国耶拿，专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺，产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造，并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。

Piezosystem Jena 双轴压电平台 PXY 系列 PXY 102

产品介绍

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PXY 系列/双轴压电平台

PXY 102

开回路行程100 μm
开回路解析度0.2 nm
重量520 g

二維奈米定位平台
40 mm 中央開孔
XY 運動範圍可達 100 µm
可選配整合式回饋感測器
無機械間隙
高定位解析度
專為顯微鏡平台設計
高共振頻率，適用於精密線掃描應用

产品规格表

规格项目	单位	PXY 102	PXY 102 SG	PXY 102 CAP
零件编号	-	T-205-10	T-205-11	T-205-16
轴向	-	X, Y	X, Y	X, Y
开回路行程 (±10%)	μm	100	100	100
闭回路行程 (±0.2%)	μm	-	80	80
开回路解析度	nm	0.2	0.2	0.2
闭回路解析度	nm	-	2	1
尺寸 (L×W×H)	mm	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30
重量	g	520	610	700

*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

产品说明

PXY 102 壓電平台結構緊湊，在 X 和 Y 軸上可提供高達 100 μm 的開迴路運動。其獨特的立方體機械設計可實現無間隙的平行運動。它非常適合從光學研究到 OEM 系統的多種應用。顯微鏡中的探針對準通常需要開放的中心空間以便光線通過。PXY 102 具有 40 mm 的中央孔徑，專為此應用而開發。高剛度結合出色的運動直線度，使 PXY 102 成為光學、雷射技術及任何其他高解析度定位應用中奈米級高精度的理想選擇。

相关文件

PXY-102-Datasheet.pdf下载
PXY-102-Part-Drawing.pdf下载