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piezosystem jena 创立于德国耶拿，专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺，产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造，并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。

Piezosystem Jena 双轴压电平台 PXY 系列 PXY 100

产品介绍

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PXY 系列/双轴压电平台

PXY 100

piezosystem jena 台湾独家总代理

开回路行程100 μm
开回路解析度0.2 nm
重量102 g

产品特点

精確平行運動
最大 100 µm 運動範圍
無機械間隙
易與其他壓電系統結合
精密銷孔便於精確調整
高動態範圍

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产品说明

PXY 100 採用平行四邊形結構的固態鉸鏈，可在 X 和 Y 方向實現無機械間隙的平行運動。這種結構設計實現了遠超機械和機電定位系統解析度的高解析度解決方案。奈米定位平台 PXY 100 可輕鬆安裝於其他定位系統，並可配備應變規量測以克服遲滯效應。亦提供低溫和真空版本的 PXY 100。可進行動態操作，非常適合解決掃描問題。

产品规格表

规格项目	单位	PXY 100	PXY 100 SG	PXY 100 CAP
零件编号	-	T-203-00	T-203-01	T-203-06
轴向	-	X, Y	X, Y	X, Y
开回路行程 (±10%)	μm	100	100	100
闭回路行程 (±0.2%)	μm	-	80	80
开回路解析度	nm	0.2	0.2	0.2
闭回路解析度	nm	-	2	1
尺寸 (L×W×H)	mm	40 x 40 x 20	60 x 60 x 21	65 x 65 x 20
重量	g	102	175	300