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piezosystem jena 创立于德国耶拿，专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺，产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造，并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。

Piezosystem Jena 双轴压电平台 PXY 系列 PXY 200

产品介绍

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PXY 系列/双轴压电平台

PXY 200

开回路行程200 μm
开回路解析度0.4 nm
重量350 g

精確平行運動
最大 200 µm 運動範圍
無機械間隙
易與其他壓電系統結合
精密銷孔便於精確調整
高動態範圍

产品规格表

规格项目	单位	PXY 200	PXY 200 SG
零件编号	-	T-227-00	T-227-01
轴向	-	X, Y	X, Y
开回路行程 (±10%)*	μm	200	200
闭回路行程 (±0.2%)*	μm	-	160
开回路解析度**	nm	0.4	0.4
闭回路解析度**	nm	-	4
尺寸 (L×W×H)	mm	70 x 70 x 25	70 x 70 x 25
重量	g	350	350

*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier (closed-loop: NV 40/3 CLE amplifier). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

产品说明

PXY 200 採用平行四邊形結構的固態鉸鏈，可在 X 和 Y 方向實現無機械間隙的平行運動。這種設計實現了遠超機械和機電定位系統解析度的高解析度。PXY 200 系列壓電定位器可輕鬆安裝於其他定位系統，並可配備應變規量測系統以克服遲滯效應。由於壓電元件非常適合解決掃描問題，因此可進行動態操作。

相关文件

PXY-200-Datasheet.pdf下载
PXY-200-Part-Drawing.pdf下载
PXY-200-SG-Part-Drawing.pdf下载